研華智能洗滌器系統狀態監測解決方案
2021/9/28
在IC製造流程中，洗滌器系統執行了最重要的一環—晶圓清洗，所以遠端監控整個清洗過程顯得很重要。 這項設施必須要搭載旋轉座、洗滌設備、檢驗裝置與VFD 溫度偵測裝置，該偵測裝置必須要能即時開關VFD通風設備才能即時避免危險。
系統需求
常見的清洗系統可能會運用高壓幫浦推送水柱輕理晶原表換，或者使用氮氣將水滴物化噴灑到晶原之上，無論管理者套用哪一種清潔模式，系統當中都會有幫浦，變頻器，排氣風扇系統等設備同時運作。 為保持設備常態高效運作，將運轉期間的效能最大化，管理者希望能夠即時遠端監控重點設備的運作狀態，一方面確保產能，另一方面提升通風效率，保障員工的工作環境安全。 除了現場監控，管理者不希望在產線升級的過程當中停機停產降低產量，故偏好使用無線傳輸技術，完成轉型計劃。
為了達成這目標，研華提供 LoRaWAN 解決方案。在此解決方案中，我們提供“WISE-2410震動傳感器”，用於洗滌器泵檢查; “WISE-4610及具備靈活 I/O 的WISE-S617”用於遠端環境監測和即時通風系統控制。
系統描述
WISE-6610 是一款支持 Modbus TCP 協議的 LoRaWAN 閘道器，可以連接到世界上任何 SCADA 系統。WISE-2410 遵循 ISO-10816 標準為旋轉設施檢查應用提供了一種簡單的方法。此外，WISE-2410 還支持 3 軸振動檢測，再加上IP66等級和寬溫設計可以克服洗滌器泵所在的惡劣環境。
系統架構
